제품소개
제품소개
Ceramic Plate
| 구분 | 적용분야 |
|---|---|
| Plate | 웨이퍼 상부 척(Chuck), 전극 부품 |
| Cooling Jacket | 전기적 절연 & 정밀 온도제어 |
| Porus Chuck | 웨이퍼 이송 척(Chuck), 정밀부품 |